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三联体自动PVD镀膜机
行业常用之“单体机”
这就是”连体机”
连体机总体优势
成膜的真空室,可以长时间不暴露大气。
通常一个保养周期(约十天左右)只需要暴露一次,开门周期较单体机延长40~50倍。
连体机优势
1、镀膜室可以镀膜,连续性好,镀膜机效率高。
以上是选择中间室镀膜时,左右两侧备好的产品可以交替供应,保证中间室镀膜不间断进行。
2、产品外观缺陷较少
因为镀膜室一直保持高真空状态,真空室温度相对稳定,没有骤冷骤热的状况,不容易爆镀层,产品麻点、亮点等外观缺陷少。
3、膜层中杂质气体含量少,膜层质量更好。
也是因为镀膜室一直保持高真空状态,杂质气体的含量很低;而且,在保养周期内,越是到保养后期,杂质气体的含量越是更低,膜层质量越是更好。而传统的单体机,到保养后期,衬板镀层越厚,吸附的杂质气体越多,膜层品质是越来越差的。
这是膜层测试变差时,经常要考虑到的主要原因之一。
4、有AF工序的,可以不转炉,直接完成AF镀膜。
利用镀膜室之外的真空室,在产品出炉前,完成AF镀膜。而目前传统的单体机,则需要出炉后,转炉完成。这样的话,连体机就减少了一道转换工序,缩短交期,节省人手。对生产有很大意义。
5 、产能优势
如优势一所述,连体机可以保证镀膜室连续不间断镀膜,镀膜机效率高。
连体机的其它优势
占地面积、人员配置、设备能耗、设备成本等,均有明显优势。